从哈工大光源突破来看“中国芯”任重而道远

极紫外（extreme-ultraviolet，缩写XUV/EUV）是波长介于121纳米至10纳米的高能电磁辐射，属于光学与天文学领域术语。该波段光波因能电离普通物质而需在真空中传播，主要应用于光刻技术、太阳成像和物质结构探测等领域。

EUV光刻机被誉为"人类工业皇冠上的明珠"，全球仅ASML能生产，每台售价超1.5亿美元。极紫外光源被誉为EUV光刻机的"心脏"，其技术难度堪比在针尖上跳舞。传统DUV光刻机使用的深紫外光波长193纳米，而EUV光刻机直接将波长缩短到13.5纳米，相当于用更细的"笔尖"在硅片上绘制电路。能产生这束特定光的技术——光刻光源，其难度之高、价值之重，往往成了决定整台光刻机乃至芯片工艺成败的关键，专业的科研人员在光刻机，尤其是关键的光源技术上，已经默默耕耘了几十年。

2024年底，哈尔滨工业大学航天学院的赵永蓬教授和他的团队，凭借在“放电等离子体极紫外（EUV）光刻光源技术”上的研究，获得了一项黑龙江省的科技奖项。哈工大在光源稳定性上取得关键进展，他们突破的等离子体光源技术，通过超高温电离锡液产生极紫外光，温度高达20万摄氏度，比太阳表面还热30倍。但其实要走的路还长，2023年哈工大光源样机出来了，2024年刚通过测试，与国仪集团投资11亿元建厂，专家分析功率仍不够，碎片污染尚未解决，距离实现量产相差甚远。但根据公开资料能查到的专利记录，哈工大围绕“光刻光源”的专利有147条，足以看出该校对光刻技术的重视。

无独有偶，上光所研究LPP光源，北航团队做混合芯片，清华也在搞新光源技术，这些都是绕开ASML专利的路子来开发自己的芯片技术。但芯片不是造汽车，拆开研究难复制，需要整个产业链配合，现在GPU、CPU设计还是短板，龙芯海光指令集不兼容，AI芯片模拟性能好但没落地。

从长远来看，芯片战还得交给时间。哈工大光源突破只是第一步，后面得解决物镜、光刻胶一堆问题。中国每年500万理工科毕业生，政府又给钱，但高端人才还是不够。台积电市值高，但地缘风险大，要是中国真把光刻机搞定了，说不定能靠低价抢市场。

现在华为用中芯7纳米芯片，性能接近台积电5纳米，靠的是海思设计优化。但这些都是小突破，离全面超越还早。中国芯片厂在存储芯片领域站稳了脚跟，长江存储、长鑫存储干得不错，但上游设备还是得靠自己造。

美国的一贯制裁确实有效，中国高性能CPU少，GPU成长慢，但中国没放弃，清华、北航这些高校都在试新路子。要是光源、物镜这些关键部件都搞定了，中芯产能一上来，说不定真能改变局面。不过现在说赢还太早，得一步步来。

新加坡大佬王国辉说中芯国际要赢麻了。王国辉是新加坡的投资老手，专门做中国生意，他在彭博台放话，谈到中芯就差台国产EUV光刻机，有了就能结束芯片战。为什么他如此看好中芯？因为中国工程师多、政府给钱、市场大，中芯现在市值才一千亿美金，台积电都万亿了，但王国辉觉得能追上。

中芯国际这些年确实不容易。2019年量产14纳米芯片，2023年给华为做了7纳米麒麟芯片，但用的是老式DUV光刻机，成本高效率低。2024年利润暴跌45%，只剩五亿美金，主要是投资太多，钱不够花。现在计划砸73亿美金扩建北京上海工厂，但先进制程卡在5纳米以上，没EUV光刻机根本没法往下走。

王国辉说的“赢麻”可能太乐观了。中芯现在靠物联网和移动芯片订单活着，客户有英特尔AMD，但高端市场还是台积电的天下。美国官员还指控中芯违反出口管制，股价一下跌了5%。中国从黑市买GPU，价格翻好几倍，但没办法。

芯片战打了这么多年，中国人憋着一股劲儿。哈工大光源是希望，但得等技术成熟。中芯国际咬牙撑着，利润下滑还得扩产。美国封锁越严，中国越得自己搞研发。这事没那么容易结束，但至少现在有了点盼头。